一、项目背景
客户单位:铜仁某半导体制造公司
设备信息:
空压机型号:阿特拉斯·科普柯(Atlas Copco)GA37变频螺杆式空压机
运行参数:37kW,排气量6.8m³/min,压力0.8MPa
用途:为芯片封装、洁净车间提供无油压缩空气
问题反馈:
设备运行噪音增大,振动明显
排气温度偏高(≥95℃),报警频发
压缩空气含微量油分(影响半导体工艺)
二、故障诊断与检查
初步检测:
油路系统:空压机油位正常,但油品发黑,粘度下降
冷却系统:冷却器散热片堵塞,风扇转速不足
进气阀:积碳严重,阀体动作迟缓
后处理设备:精密过滤器压差超标(0.6bar),活性炭层饱和
根本原因分析:
润滑油老化:超期使用(超6000小时),导致润滑不良、高温
冷却效率低:散热器堵塞,影响热交换
进气阀磨损:长期未保养,阀芯密封失效
后处理失效:过滤器未按时更换,导致油分残留
三、维修保养方案
1. 常规保养项目:
更换空压机专用润滑油(合成油,ISO VG 46)
更换油过滤器、空气过滤器、油分芯
清理冷却器散热片,检查风扇电机
2. 关键部件维修:
拆洗进气阀,更换密封圈和弹簧
校准温度传感器和压力阀
更换精密过滤器滤芯(0.01μm级)
四、维修效果验证
项目 维修前 维修后
排气温度 95℃(报警) 82℃(正常)
压缩空气含油量 0.05ppm <0.001ppm
运行噪音 78dB 72dB
系统压差 0.6bar 0.25bar
五、客户反馈:
设备运行平稳,报警消除,满足半导体生产洁净度要求
预计节能约12%,年省电费约3.5万元
服务热线: 贵州隆力盛节能科技有限公司 张工 18585027353